工业生产过程中产生的工业废气，有些废气不仅具有严重的臭气异味而且还具有一些油烟。处理这种工业废气经常会用到低温等离子这两种设备和光氧设备。于是等离子光氧组合而成的废气处理设备应运而生。这种成套的废气处理环保设备综合采用了低温等离子和光氧设备的结合，具有高度的性价比。

等离子光氧一体机工作原理：

废气首先进入等离子模块，通过放电，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物。生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为：等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。

未完全分解的废气再进行光氧设备内部。在光氧设备内部主要分三步对废气进行处理净化：1、光氧设备利用C波段的紫外线光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，2、C波段紫外线光对废气分子进行催化氧化，反应产生的O3进一步将裂解分化的分子或原子进行氧化反应，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等3、光氧设备内部密布着催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，*与光源接触，二氧化钛惰性催化剂可将C波段紫外线光放大10-30倍光源效果，加大废气的氧化反应，使紫外线光与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果。